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高端光学测试和加工设备

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发布于 2012年8月07日
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康宁超纯熔石英玻璃材料HPFS 8650: 材料最初是 Corning专门为美国航空航天设备开发的，后来逐步用到商业领域。 Corning 针对Schott 和 Russia对应的材料做过对比， Corning的产品的均匀性、一致性上有明显优势， 最关键的是，在光学、机械特性相近的情况下，Corning的产品材料应力非常小，并且稳定。 国内目前可提供熔石英，但一致性及可靠性上差距明显。 用途： 微光刻应用：光刻机透镜，光掩模基板
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