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康宁超纯熔石英玻璃材料HPFS 8650: 材料最初是 Corning专门为美国航空航天设备开发的，后来逐步用到商业领域。 Corning 针对Schott 和 Russia对应的材料做过对比， Corning的产品的均匀性、一致性上有明显优势，最关键的是，在光学、机械特性相近的情况下，Corning的产品材料应力非常小，并且稳定。国内目前可提供熔石英，但一致性及可靠性上差距明显。用途：微光刻应用：光刻机透镜，光掩模基板

大尺寸单晶氟化钙CaF2: 大尺寸氟化钙CaF2：直径可达350mm，厚度超过100mm，157nm 高透射率。 Fields of Application / 应用领域 IC Litho: Manufacturing tools / 集成电路光刻：制造工具 IC Litho: Excimer laser & beam delivery systems / 集成电路光刻：157nm, 193n

光学玻璃材料的特性:

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