发布于 2011年12月26日
点击数：7261
大尺寸氟化钙CaF2：直径可达350mm，厚度超过100mm，157nm 高透射率。
Fields of Application / 应用领域
- IC Litho: Manufacturing tools / 集成电路光刻：制造工具
- IC Litho: Excimer laser & beam delivery systems / 集成电路光刻：157nm, 193nm, 248nm准分子激光光束传输系统
- Non-Litho: Laser & imaging optics / 非光刻：激光和成像光学
Key Features / 关键特性
- Excellent UV transmittance / 优异的深紫外透射性 具体材料指标，请致电 021-58959778 咨询
- High laser durability / 高激光耐久性
- Low stress birefringence / 低应力双折射
- High refractive index homogeneity / 高折射率一致性
分类：紫外光学材料
