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康宁超纯熔石英玻璃材料HPFS 7980
: 材料最初是 Corning专门为美国航空航天设备开发的,后来逐步用到商业领域。 Corning 针对Schott 和 Russia对应的材料做过对比, Corning的产品的均匀性、一致性上有明显优势, 最关键的是,在光学、机械特性相近的情况下,Corning的产品材料应力非常小,并且稳定。 国内目前可提供熔石英,但一致性及可靠性上差距明显。 用途: 微光刻应用:光刻机透镜,光掩模基板