HPFS® Fused Silica Industrial Grade

材料最初是 Corning专门为美国航空航天设备开发的,后来逐步用到商业领域。 Corning 针对Schott 和 Russia对应的材料做过对比, Corning的产品的均匀性、一致性上有明显优势, 最关键的是,在光学、机械特性相近的情况下,Corning的产品材料应力非常小,并且稳定。 国内目前可提供熔石英,但一致性及可靠性上差距明显。

用途:

  • 微光刻应用:光刻机透镜,光掩模基板
  • 深紫外 激光元件
  • 光学标准件
  • 准分子激光光学元件
  • 光刻光学元件
  • 光束传输元件
  • 灯管光导
  • 激光核聚变
  • 各种技术应用

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