发布于 2011年12月26日
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大尺寸氟化钙CaF2：直径可达350mm，厚度超过100mm，157nm 高透射率。
Fields of Application / 应用领域
- IC Litho: Manufacturing tools / 集成电路光刻：制造工具
- IC Litho: Excimer laser & beam delivery systems / 集成电路光刻：157nm, 193nm, 248nm准分子激光光束传输系统
- Non-Litho: Laser & imaging optics / 非光刻：激光和成像光学
Key Features / 关键特性
- Excellent UV transmittance / 优异的深紫外透射性 具体材料指标，请致电 021-58959778 咨询
- High laser durability / 高激光耐久性
- Low stress birefringence / 低应力双折射
- High refractive index homogeneity / 高折射率一致性
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CERAC作为Materion的著名子品牌，提供逾2000种光学镀膜用膜层材料，其中14“靶材以及LaB6阴极作为Veeco和Lelybold镀膜机的标准配置。上海联肯光电技术有限公司是Materion/Cerac在该领域在中国大陆唯一书面授权代理商，提供诸多PVD用材料，各种靶材，近千种薄膜沉积材料，并提供靶材BONDING服务。
CERAC提供超过100种靶材，包括14”的HfO2, Ge等等。并提供诸多高品质材料，如高纯铝，铍材料......
Materion提供各种各样的材料，从铝到锆包括硼化物、碳化物、磷、氧化物、硅化物和钍的化合物。
Materion在无机化学合成和精炼金属合金有几十年的经验，提供各式无机化学靶。
Materion提供产品，支持各种市场，包括铜铟镓硒太阳能能产业材料，氟化物、金属、氧化物、硫化物和航空航天应用的光学薄膜和硼硅化物硒。
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