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光学玻璃材料的特性
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光学主材
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产/品/动/态
Synthetic Sapphire S
: Features Flame fusion, Kyropoulos method and GTA method Various grades including optical grade, different sizes (up to 340mmx140mm) Various shapes (substrates, rods, windows) Application Wi
全波段光学晶体特性
:
康宁超纯熔石英玻璃材料HPFS 8650
: 材料最初是 Corning专门为美国航空航天设备开发的,后来逐步用到商业领域。 Corning 针对Schott 和 Russia对应的材料做过对比, Corning的产品的均匀性、一致性上有明显优势, 最关键的是,在光学、机械特性相近的情况下,Corning的产品材料应力非常小,并且稳定。 国内目前可提供熔石英,但一致性及可靠性上差距明显。 用途: 微光刻应用:光刻机透镜,光掩模基板
什么是光学晶体?
: 光学晶体 科技名词定义 中文名称:光学晶体英文名称:optical crystal定义:制作光学零件的晶体,可用来制造透镜、棱镜、调制元件、偏光元件等。应用学科:机械工程(一级学科);光学仪器(二级学科);光学仪器一般名词(三级学科)以上内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布
大尺寸单晶氟化钙CaF2
: 大尺寸氟化钙CaF2:直径可达350mm,厚度超过100mm,157nm 高透射率。 Fields of Application / 应用领域 IC Litho: Manufacturing tools / 集成电路光刻:制造工具 IC Litho: Excimer laser & beam delivery systems / 集成电路光刻:157nm, 193n
2012 International C
: 2012 International Conference on Microelectronics, Optoelectronics and Nanoelectronics (ICMON 2012)Shanghai, China. August 25-26, 2012