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光学玻璃材料的特性
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:
Synthetic Sapphire S
: Features Flame fusion, Kyropoulos method and GTA method Various grades including optical grade, different sizes (up to 340mmx140mm) Various shapes (substrates, rods, windows) Application Wi
Astro-Sital CM 系列
: Many optical applications require a substrate material with a near-zero coefficient of thermal expansion and/or excellent thermal shock resistance. Astrosital, equivalent to Zerodur™ (registered trade
THIN FILM DEPOSITION
: Materion offers a wide range of thin film deposition materials for a variety of coating processes. With 50 years experience in thin film deposition and 15 manufacturing and service facilities around
大尺寸单晶氟化钙CaF2
: 大尺寸氟化钙CaF2:直径可达350mm,厚度超过100mm,157nm 高透射率。 Fields of Application / 应用领域 IC Litho: Manufacturing tools / 集成电路光刻:制造工具 IC Litho: Excimer laser & beam delivery systems / 集成电路光刻:157nm, 193n
康宁超纯熔石英玻璃材料HPFS 8650
: 材料最初是 Corning专门为美国航空航天设备开发的,后来逐步用到商业领域。 Corning 针对Schott 和 Russia对应的材料做过对比, Corning的产品的均匀性、一致性上有明显优势, 最关键的是,在光学、机械特性相近的情况下,Corning的产品材料应力非常小,并且稳定。 国内目前可提供熔石英,但一致性及可靠性上差距明显。 用途: 微光刻应用:光刻机透镜,光掩模基板