大尺寸氟化钙CaF2大尺寸氟化钙CaF2:直径可达350mm,厚度超过100mm,157nm 高透射率。

Fields of Application / 应用领域
 
  • IC Litho:  Manufacturing tools / 集成电路光刻:制造工具
  • IC Litho:  Excimer laser & beam delivery systems / 集成电路光刻:157nm, 193nm, 248nm准分子激光光束传输系统
  • Non-Litho:  Laser & imaging optics / 非光刻:激光和成像光学

Key Features / 关键特性

  • Excellent UV transmittance / 优异的深紫外透射性                                       具体材料指标,请致电 021-58959778 咨询
  • High laser durability / 高激光耐久性 
  • Low stress birefringence / 低应力双折射
  • High refractive index homogeneity / 高折射率一致性
紫外透射率曲线
 
透射率曲线

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