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光学主材
石英全波段系列
日本/国产 JGS1
日本/国产 JGS1
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日本/国产 JGS1,性价比高,欢迎来电垂询!
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石英全波段系列
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Corning 原厂UL94-V0,VW
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康宁超纯熔石英玻璃材料HPFS 7980
: 材料最初是 Corning专门为美国航空航天设备开发的,后来逐步用到商业领域。 Corning 针对Schott 和 Russia对应的材料做过对比, Corning的产品的均匀性、一致性上有明显优势, 最关键的是,在光学、机械特性相近的情况下,Corning的产品材料应力非常小,并且稳定。 国内目前可提供熔石英,但一致性及可靠性上差距明显。 用途: 微光刻应用:光刻机透镜,光掩模基板
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大尺寸单晶氟化钙CaF2
: 大尺寸氟化钙CaF2:直径可达350mm,厚度超过100mm,157nm 高透射率。 Fields of Application / 应用领域 IC Litho: Manufacturing tools / 集成电路光刻:制造工具 IC Litho: Excimer laser & beam delivery systems / 集成电路光刻:157nm, 193n